在集成電路制造領(lǐng)域，精度要求已達(dá)到“納米級(jí)摩天大樓”的建造水準(zhǔn)，數(shù)以億計(jì)的微小元器件被集成于芯片之上，對(duì)檢測(cè)設(shè)備的準(zhǔn)確性提出了嚴(yán)苛挑戰(zhàn)。作為校驗(yàn)這些高精度設(shè)備的關(guān)鍵工具，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的重要性愈發(fā)凸顯。近日，上海在標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研發(fā)領(lǐng)域取得重大突破，三項(xiàng)晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)通過(guò)國(guó)家二級(jí)認(rèn)證，為國(guó)產(chǎn)芯片檢測(cè)提供了更精準(zhǔn)的“標(biāo)尺”。

集成電路制造是信息產(chǎn)業(yè)的核心，其精度直接決定了芯片性能。隨著技術(shù)迭代，檢測(cè)設(shè)備需在納米尺度上實(shí)現(xiàn)無(wú)誤差操作，而傳統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)因尺寸限制，難以滿足自動(dòng)化檢測(cè)需求。此次獲批的三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，包括八英寸晶圓級(jí)100納米一維光柵、200納米二維柵格及100納米凹陷缺陷標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，專為集成電路典型結(jié)構(gòu)與缺陷設(shè)計(jì)，可覆蓋特征尺寸測(cè)量、角度校準(zhǔn)及缺陷檢測(cè)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

以掃描電子顯微鏡（CD-SEM）為例，其測(cè)量精度直接影響芯片良率。新標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)通過(guò)提供可靠的量值基準(zhǔn)，有效解決了檢測(cè)設(shè)備“測(cè)不準(zhǔn)、測(cè)不精、測(cè)不全”的產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn)，助力國(guó)內(nèi)企業(yè)突破技術(shù)瓶頸。據(jù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)介紹，這些標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可幫助量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)與晶圓制造廠提升計(jì)量測(cè)試能力，完善產(chǎn)業(yè)技術(shù)體系，為高端裝備自主可控奠定基礎(chǔ)。

上海在標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)領(lǐng)域的突破，得益于審批制度的改革創(chuàng)新。2023年，上海率先獲得國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)鑒定審批權(quán)，并在浦東新區(qū)、奉賢區(qū)開(kāi)展試點(diǎn)。2025年7月，改革成果獲國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局認(rèn)可，審批權(quán)下放至省級(jí)部門(mén)，并推廣至內(nèi)蒙古、湖南、四川部分地區(qū)。新規(guī)實(shí)施后，上海已頒發(fā)41張國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書(shū)，覆蓋56項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，涉及集成電路、生物制造、生命健康等先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。

其中，滅活基孔肯雅病毒標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)為中國(guó)首個(gè)針對(duì)該病毒的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，為疫情防控提供技術(shù)支撐；赭曲霉毒素純度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，推動(dòng)真菌毒素檢測(cè)國(guó)產(chǎn)化；紫外可見(jiàn)全波長(zhǎng)檢定溶液標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)則廣泛應(yīng)用于制藥、醫(yī)療、環(huán)保等領(lǐng)域。中國(guó)倉(cāng)鼠卵巢細(xì)胞基因組DNA標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)通過(guò)提升DNA殘留量檢測(cè)準(zhǔn)確度，助力生物制品質(zhì)量升級(jí)，破解國(guó)際貿(mào)易技術(shù)壁壘。

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，不僅解決了關(guān)鍵領(lǐng)域的“卡脖子”問(wèn)題，還吸引了上下游企業(yè)參與創(chuàng)新鏈。例如，某生物科技公司基于新標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)開(kāi)發(fā)的檢測(cè)試劑盒，已實(shí)現(xiàn)真菌毒素快速篩查，市場(chǎng)占有率顯著提升。另一家半導(dǎo)體企業(yè)則通過(guò)引入晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，將檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)周期縮短30%，生產(chǎn)成本降低15%。

業(yè)內(nèi)專家指出，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是計(jì)量體系的“基石”，其國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程直接關(guān)系到產(chǎn)業(yè)安全。上海通過(guò)制度創(chuàng)新與科研攻關(guān)雙輪驅(qū)動(dòng)，已形成從研發(fā)到審批的完整閉環(huán)，為全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供了可復(fù)制的經(jīng)驗(yàn)。隨著改革深入，更多高精度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)有望涌現(xiàn)，為中國(guó)制造向中國(guó)智造轉(zhuǎn)型提供有力保障。