在半導體設備領域，國內企業正憑借技術創新與產業協同不斷突破。近日，先導基電旗下上海凱世通半導體股份有限公司在行業盛會上推出兩款重磅產品——Hyperion先進制程大束流離子注入機與iKing 360中束流離子注入機，標志著國產高端離子注入設備邁入全新發展階段。
當前，全球離子注入機市場呈現高度集中態勢，美國應用材料與Axcelis占據約九成份額。其中，低能大束流機型作為先進制程芯片制造的核心設備，長期面臨技術封鎖，成為制約國內半導體產業發展的關鍵環節。隨著芯片制造向3nm及以下節點推進，離子注入工藝需同時解決低能超淺結注入精度、大束流產能平衡、離子束角度均勻性及顆粒污染控制四大難題，這些技術瓶頸直接影響芯片良率提升。
針對行業痛點，凱世通此次發布的Hyperion系列大束流設備實現多項技術突破。該設備搭載自主核心模塊，在低能超淺結注入、角度均勻性控制等關鍵指標上達到國際領先水平，可全面匹配國內先進工藝制造需求。通過正向設計理念，設備集成長壽命離子源、高質量分析磁體等創新模塊，有效解決了極端低能量與大束流之間的技術矛盾，為28nm及以下先進制程提供定制化解決方案。
另一款iKing 360中束流設備則聚焦窄線寬、高精度摻雜等特殊工藝需求。該設備在能量性能、角度控制及量產通用性方面取得關鍵進展，產能較傳統設備提升30%以上，并可同步適配6/8英寸碳化硅工藝。通過精準調控離子束平行度與發散角，設備滿足先進工藝對注入角度重復性的嚴苛標準，同時支持高溫及極低溫注入，為碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導體提供工藝支撐。
在產業化進程中，凱世通已取得顯著成果。2025年，公司低能大束流離子注入機在國內頭部客戶產線實現12英寸晶圓安全量產超1000萬片，創下國產設備規?；瘧美锍瘫?。這一突破不僅驗證了設備成熟度，更通過正向設計集成自主軟件控制系統，形成關鍵技術模塊集群。在供應鏈國產化方面，公司加速推進"硬卡替"戰略，2025年研制的CIS低能大束流設備采用自研微波等離子體噴槍，金屬污染指標優于國際同類產品一個量級。
控股股東先導科技集團的全鏈條協同為凱世通發展提供強力支撐。作為全球領先的泛半導體材料企業，先導科技擁有國家稀散金屬工程技術研究中心等國家級創新平臺，通過"材料+設備+零部件"協同模式，助力凱世通構建自主可控供應鏈。2025年，雙方聯合攻克多類涉美日核心零部件國產化難題，推動零部件國產化率持續提升，形成更具韌性的產業生態。
在高端設備研發領域，凱世通中高能離子注入機已服務國內多家產線，未來將持續完善產品矩陣。面對AI算力芯片對設備精度的更高要求，公司正探索"用AI技術制造AI"的創新路徑，通過人工智能驅動設備控制，在顆粒污染控制等領域形成技術優勢。目前，凱世通產品已進入國內十余家主流晶圓廠，實現從邏輯芯片到存儲、功率器件的全工藝覆蓋。
先導科技集團旗下其他業務板塊同樣展現強勁實力。元創精密重點展示特種電源、在線工藝監測等全系列解決方案，并展出勻氣盤、靜電卡盤等關鍵部件；科學儀器板塊構建起覆蓋表面測量、質譜分析等四大核心的產品體系，為半導體制造提供高精度檢測支持。通過產業鏈上下游深度協同，凱世通正攜手集團各板塊構建技術生態，推動國產半導體設備向高端化、自主化方向持續邁進。
