近日，專注于原子力顯微鏡（AFM）探針研發(fā)的探真納米科技（衢州）有限公司宣布完成Pre-A/A輪融資，獲得衢州綠石新材料股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）與杭州德甫股權(quán)投資有限責(zé)任公司超千萬(wàn)元投資。本輪資金將主要用于優(yōu)化探針批量化制備工藝、提升產(chǎn)品穩(wěn)定性及良率，同時(shí)推進(jìn)全品類探針研發(fā)與新產(chǎn)線建設(shè)。

作為納米科技、材料科學(xué)及半導(dǎo)體工業(yè)的核心檢測(cè)工具，原子力顯微鏡通過(guò)納米級(jí)探針對(duì)芯片表面進(jìn)行精密掃描，承擔(dān)著半導(dǎo)體制造中"質(zhì)量把關(guān)"的關(guān)鍵角色。其核心消耗部件AFM探針長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，不僅價(jià)格高昂且供應(yīng)受限，成為制約科研與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。據(jù)行業(yè)數(shù)據(jù)顯示，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)99%的AFM探針仍依賴國(guó)際品牌，國(guó)產(chǎn)化替代需求迫切。

探真納米科技憑借自主創(chuàng)新的干法刻蝕微納加工工藝，實(shí)現(xiàn)了從晶圓級(jí)材料到探針成品的完整制造鏈條。該技術(shù)突破了傳統(tǒng)濕法刻蝕對(duì)硅晶向的依賴，可精準(zhǔn)調(diào)控探針曲率半徑、深寬比等核心參數(shù)。公司創(chuàng)始人崔波教授透露，通過(guò)二十年技術(shù)迭代，干法刻蝕成本已降至可替代濕法工藝的水平，其產(chǎn)品在關(guān)鍵性能指標(biāo)上已達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，部分參數(shù)甚至優(yōu)于國(guó)際頭部品牌。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)化為市場(chǎng)認(rèn)可的速度超出預(yù)期。今年年初上市的AFM探針產(chǎn)品已進(jìn)入多家科研院所采購(gòu)清單，并在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模化銷(xiāo)售。某集成電路制造企業(yè)測(cè)試報(bào)告顯示，探真產(chǎn)品價(jià)格較國(guó)際品牌低30%-40%，在深寬比、針尖壽命等指標(biāo)上表現(xiàn)相當(dāng)，掃描圖像質(zhì)量已滿足產(chǎn)業(yè)應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。目前制約大規(guī)模替代的主要因素在于產(chǎn)品穩(wěn)定性，但崔波教授表示，通過(guò)工藝優(yōu)化，良率問(wèn)題將在半年內(nèi)得到顯著改善。

品牌信任構(gòu)建成為國(guó)產(chǎn)替代的最后一道門(mén)檻。崔波教授觀察到，盡管測(cè)試階段用戶對(duì)國(guó)產(chǎn)性能普遍認(rèn)可，但采購(gòu)決策時(shí)仍傾向沿用Olympus、NanoWorld等國(guó)際品牌。"這種使用慣性需要時(shí)間打破，我們計(jì)劃通過(guò)持續(xù)技術(shù)迭代和案例積累，逐步建立市場(chǎng)信心。"他同時(shí)指出，國(guó)內(nèi)完善的產(chǎn)業(yè)配套為技術(shù)轉(zhuǎn)化提供了有力支撐，以金剛石探針為例，本土供應(yīng)商已能提供高質(zhì)量薄膜材料，形成完整產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)。

這家成立于2016年的技術(shù)型企業(yè)，其研發(fā)基因深植于創(chuàng)始人學(xué)術(shù)背景。崔波教授本科畢業(yè)于北京大學(xué)物理系，在普林斯頓大學(xué)取得電子工程博士學(xué)位后，于加拿大滑鐵盧大學(xué)從事微納加工研究近三十年。2024年加盟寧波東方理工大學(xué)后，其課題組與探真納米保持深度技術(shù)協(xié)同，目前正圍繞導(dǎo)電探針、磁性探針等特種產(chǎn)品開(kāi)展攻關(guān)，形成覆蓋全應(yīng)用場(chǎng)景的產(chǎn)品矩陣。