格隆匯3月2日丨和遠氣體(002971.SZ)公布，宜昌產業園項目占地880畝，分兩期建設，規劃的主要產品為“電子級三氟化氮、六氟化鎢、三氯氫硅、二氯二氫硅、四氯化硅、硅烷、乙硅烷等電子特氣，以及氨基、乙烯基、環氧基、酰氧基、烷基、苯基、硫基等系列硅基功能性新材料”等產品。截至本公告披露日，上述所規劃的產品正在分批試生產，預計今年將逐步達到“投產-穩產”的目標。本次擴建的4500噸/年電子級三氟化氮項目，是在宜昌產業園項目建設基礎上擴建的項目。
電子級三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，具有良好的蝕刻速率和選擇性。本次投資擴建的4500噸/年電子級三氟化氮項目，是公司根據市場行情并結合公司實際情況審慎決策的，投資總預算68,371.00萬元，分兩期建設，建設期三年，資金來源為控股子公司和遠新材料自籌，公司董事會授權和遠新材料負責組織項目實施。
