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阿斯麥新一代EUV光刻機據悉已具備量產條件

時間：2026-02-27 08:02:01 來源：格隆匯編輯：快訊 IP：北京 發表評論無障礙通道

格隆匯2月27日｜荷蘭光刻設備制造商阿斯麥高管表示，公司新一代極紫外光刻機已準備就緒，芯片制造商可開始將其用于大規模生產。該設備單價約4億美元，為初代EUV機型的兩倍。阿斯麥首席技術官馬爾科·皮特斯稱，該設備已累計加工約50萬片硅晶圓，停機時間極低，圖案精度達到量產標準。

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