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西門子收購Canopus:引入“AI顯微鏡”技術

   時間:2026-02-05 12:32:52 來源:IT之家編輯:快訊 IP:北京 發表評論無障礙通道
 

2 月 5 日消息,西門子(Siemens)昨日(2 月 4 日)發布公告,宣布收購法國初創公司 Canopus AI,通過引入計算量測(Computational Metrology)和檢測技術,強化其 Calibre 晶圓制造軟件生態。

據西門子透露,該筆交易實際上已于 2026 年 1 月 12 日完成交割。盡管官方未披露具體金額,但業界估算交易額約在 1.5 億至 3 億歐元(注:現匯率約合 12.31 億至 24.62 億元人民幣)之間。

Canopus AI 是一家總部位于法國格勒諾布爾的創新企業,成立于 2021 年,專注于利用機器學習和人工智能技術優化半導體量測與檢測流程。

Canopus AI 面向量測與檢測領域的機器學習及人工智能技術,通過量測邊緣放置誤差(EPE),優化晶圓制造仿真模型

Canopus AI 在行業內開創性地提出了“Metrospection”理念。該理念旨在搭建一個全面的軟件框架,利用 AI 技術打通傳統晶圓量測與檢測之間的技術壁壘,通過其特有的 Mapbox 類查看器,用戶可以交互式審查關鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)圖像及大批量制造數據。

面對器件尺寸微縮和產能擴大的雙重挑戰,大規模量測已成為保障先進制程良率的關鍵。西門子計劃將 Canopus AI 的技術與其 Calibre 產品組合中的“計算光刻”及“制造物理仿真”能力深度整合。

Canopus AI 網頁版 Mapbox 類查看器,支持關鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)圖像、HVM(大批量制造)Oasis 及計量檢測數據的交互審查。

通過這種互補,西門子將提供一套具備差異化的端到端 EDA 解決方案。這不僅能提升晶圓圖形成像的保真度,還能通過精準測量邊緣放置誤差(EPE),幫助制造商實現亞納米級的工藝控制。

西門子數字化工業軟件總裁 Tony Hemmelgarn 強調,此次收購彰顯了西門子用工業 AI 解決制造挑戰的決心。整合后的技術將助力半導體企業縮短先進制程節點的量產周期,并加速良率爬升。

 
 
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