格隆匯2月5日丨恒運昌(688785.SH)近日在接待機構投資者調研時表示，公司主要圍繞等離子體工藝打造產品矩陣，自研產品具體包括等離子體射頻電源系統(等離子體射頻電源及匹配器)、等離子體激發裝置(遠程等離子體源、射頻離子源)、等離子體直流電源、配件(濾波器、阻抗調整器等)，引進產品主要包括真空獲得和流體控制分別所需的真空泵、質量流量計等核心零部件，同時還為晶圓廠提供等離子體射頻電源系統原位替換及維修等技術服務。公司已構建了完善的技術體系，從測量、控制到架構形成了3大基石技術及8大產品化支撐技術，涵蓋信號采樣及處理、相位鎖定、同步控制、快速調頻、脈沖控制等等離子體射頻電源系統運行中的關鍵技術。
歷經十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產品系列，成功打破了美系兩大巨頭長達數十年在國內的壟斷格局。公司自主研發的第二代產品Bestda系列可支撐28納米制程，第三代產品Aspen系列可支撐先進制程，達到國際先進水平，填補國內空白。公司研發的最新一代等離子體射頻電源系統Cedar系列產品，錨定更先進制程前沿領域，目前處于驗證階段。
